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使用纹影仪双波带板径检测非球面透镜
点击:516 日期:2016/11/4 11:54:02

       使用纹影仪双波带板径检测非球面透镜的研究为了实现对光学非球面的低成本在线测量,在对比和剖析现有非球面检查技能的基础上,规划并制造了一种小型径向剪切干涉仪用于检查非球面透镜。根据波带板能够聚焦成像的原理,该干涉仪选用不同焦距的双波带板产生径向剪切干涉。波带板由工业缩微矢量图制版技能规划和制造而成,并通过试验验证了该波带板的聚焦精度。选用傅里叶变换条纹相位剖析法对干涉条纹进行处理,计算出波相差和波面面形。试验中给出了平面波光束通过一个非球面透镜后的波面面形检查成果和误差剖析,运用该技能对规范非球面进行测试,波差峰谷值(P—V)到达了λ/5的精度,均方差(RMS)到达λ/10的精度。成果表明,该干涉仪具有体积小、抗干扰能力强等特色,适用于对小型非球面透镜进行在线检查。

纹影仪

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