纹影仪薄膜技术与光学检测非球面光学零件在使用方面有许多优点, 例如可校对高分辨率透镜的像差, 然后进步光学系统成像质量, 并且一个或几个非球面零件可代替多个球面零件, 然后简化仪器结构, 降低成本并有效地减轻仪器质量s " t. 跟着非球面透镜广泛使用于光刻光学u 地理u 空间等光学系统中, 非球面的检查成了亟待解决的疑问s $ t. 非球面透镜的检查不只包含非球面面形的检查, 也包含非球面透镜光轴共轴度的测量。
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